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含硅粉废水处理系统
    发布时间: 2026-02-25 15:22    
含硅粉废水处理系统

含硅粉废水处理系统

项目背景

生产以硅片为基材,工艺包括表面处理、扩散、硅沉积、电极印刷、焊接等,污水主要来自于表面腐蚀、制绒、去磷硅玻璃(PSG)及去边缘P-N结等。


排放废水主要成分

处理方法和结果

序号

排放废水种类 

水量

处理前主要污染物

处理后

1

高浓度酸废水 (表面酸腐蚀)

200吨/天 (一期为1/3) 

氟化物(8000mg/L)

COD (500mg/L)

总氮(2000mg/L)

悬浮物SS(2000mg/L)

氟化物(8mg/L)

COD (70mg/L)

总氮(15mg/L)

悬浮物SS(50mg/L)

2

高浓度碱废水 (表面碱腐蚀)

1400吨/天 (一期为1/3)

COD (1200mg/L)

悬浮物SS(2000mg/L)

COD (70mg/L)

悬浮物SS(50mg/L)

3

漂洗废水

2400吨/天 (一期为1/3) 

氟化物(200-700mg/L

)COD (500-800mg/L)

总氮(50-200mg/L)

悬浮物SS(50-200mg/L)

氟化物(8mg/L)

COD (70mg/L)

总氮(15mg/L)

悬浮物SS(50mg/L)