含硅粉废水处理系统
项目背景
生产以硅片为基材，工艺包括表面处理、扩散、硅沉积、电极印刷、焊接等，污水主要来自于表面腐蚀、制绒、去磷硅玻璃（PSG）及去边缘P-N结等。
排放废水主要成分
处理方法和结果
序号 | 排放废水种类 | 水量 | 处理前主要污染物 | 处理后 |
1 | 高浓度酸废水 (表面酸腐蚀) | 200吨/天 (一期为1/3) | 氟化物（8000mg/L） COD (500mg/L) 总氮(2000mg/L) 悬浮物SS(2000mg/L) | 氟化物(8mg/L) COD (70mg/L) 总氮(15mg/L) 悬浮物SS(50mg/L) |
2 | 高浓度碱废水 (表面碱腐蚀) | 1400吨/天 (一期为1/3) | COD (1200mg/L) 悬浮物SS(2000mg/L) | COD (70mg/L) 悬浮物SS(50mg/L) |
3 | 漂洗废水 | 2400吨/天 (一期为1/3) | 氟化物(200-700mg/L )COD (500-800mg/L) 总氮(50-200mg/L) 悬浮物SS(50-200mg/L) | 氟化物(8mg/L) COD (70mg/L) 总氮(15mg/L) 悬浮物SS(50mg/L) |
